photolithography
substantiivi
-
valopainatus, tekniikka, jossa käytetään valoa ja kemiallisia prosesseja kuvioiden siirtämiseen materiaalille.
Photolitografiaa käytetään laajalti puolijohdeteollisuudessa mikrosirujen valmistuksessa.
Synonyymisanakirja
photolithography
-
kivipainaminen, fotolitografia, valolitografia, optinen litografia.
Mitä tarkoittaa
Photolitografia on prosessi, jota käytetään pääasiassa mikroelektroniikan alalla, erityisesti puolijohteiden valmistuksessa. Se perustuu valon käyttöön, jolla kuvioidaan valosensitiivistä materiaalia, kuten fotopolymeeriä. Photolitografiassa ensin valmistellaan substraatti, johon halutaan luoda kuvio, ja sen päälle levitetään ohut kerros fotopolymeeriä. Tämän jälkeen valoa käytetään kuviotuksen aikaansaamiseksi, jolloin fotopolymeeri kovettuu valon vaikutuksesta. Pienemmät ja tarkemmat kuviot voidaan saavuttaa käyttämällä lyhyempiä aallonpituuksia, kuten UV-valoa. Prosessi sisältää useita vaiheita, kuten eksponointi, kehitys, ja mahdolliset lisävaiheet, kuten metallin talteenotto tai etching. Photolitografia on keskeinen osa nykyaikaista elektroniikkaa ja mahdollistaa monimutkaisten piirisuunnitelmien toteuttamisen erittäin pienillä mittakaavoilla.
Käännökset
| englanti |
optinen litografia, fotolitografia, valolitografia |
Läheisiä sanoja